线条连贯,十分的清晰,方叶说道:“去显微镜镜下看一看。”

夏博士连忙带着方叶来到了显微镜前,并且调整好了倍数，方叶将相片纸放了上去，坐在显微镜面前沿着字体线条，看得十分的认真,缺点还是有的,最大的问题不是断线,而是线条毛边。

方叶抬了起头说道:“曝光很成功，线条也流畅，没有出现断线,或线条上漏点的情况,刻蚀也明显出现了层次感,说明具有一定的深度,但是你再看看,线条有毛边,而且很多。”

方叶起了身，夏培士和唐研究员两人依次看了起来,确实如方叶所说，显微镜倍数已经很低了,线条锯齿状更是清晰可见。

唐研究员有些不解的问道:“这样的锯齿状,也有问题?”方叶反问道:“不如假想一下，如果这是刻蚀在硅片上的电路,两条线路相距极近，这种程度的锯齿状,经过镀铜以后可能会出现什么问题?”唐研究员如梦初醒,他回道:“可能会造成电路接触不良，如果相距极近的话，还可能会造成电涌问题。”

“对头。”方叶说道:“现在一个汉字的尺寸差不多三四公分,仅仅二三十倍的光学检查,锯齿状就已经这么明显了，如果将其放到更小，比如整个电路只有一个汉字那么大，上面的电路线宽低于300微米,间距100至200微米，以现在的水平,电路刻蚀的成品率会有多少?”两人在交谈着,但是一旁的胡西园却是听得一脸懵,他完全不知道两人在讨论什么，一会硅片,一会电路,一会刻蚀，在他看来，紫外灯管那不是医院和洗相片的暗房才用的吗?这和电路又有什么关系呢?

唐研究员沉思了一会说道:“如果微米级刻蚀，估计连一半的成品率都没有。”

方叶为了不打击研究员的信心，便说道:“设备的研制取得了极大的成功，这是值得庆贺的。”

就见方叶继续说道:“不过还有一些问题要解决，一是刻蚀的深度不小于20微米,并且要均匀、不能有明显的波峰出现，最好能测出深度尺寸;二是锯齿的问题要极力缩到最小,最好一百倍以上显微镜下检测不能有明显的锯齿状;三是机器需要改进，将这些盖板什么的全部整合到一起，方便操作。”

唐研究员拿起记事本，将问题记了下来，方叶为了方便解释，便来到黑板前，画出了线路锯齿状和蚀刻线槽断面截图,而后解释了起来:“找出锯齿状的原因，是因为菲林片的问题，还是曝光的问题,然后加以解决。”

“至于线槽内部为什么要平坦，原因也不复杂，如果断面出现高低起伏的波峰,那么镀铜以后,线路上可能会出现点状起伏，甚至是空穴，影响电流传输。”

唐研究员思考了一会说道:“第一个问题,菲林片的影响比较大，我们现在的菲林是人工制造的。”

方叶从机器里拿出菲林片，然后又放到了显微镜下看了起来,字 本章尚未完结,请点击下一页继续阅读---->>>

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