尔、东芝、海力士的序列都在前面。

方卓想解决这个问题，最起码，掏钱之后能尽快拿到货吧……但一直没有太合适的解决机会，这就有点让人心急。

尤其，asl去年成功把首台euv光刻机nxe：3100交付给了三星，这就更让人心急了。

还有，asl今年要继续交付给台记，据说还有4台实验性的光刻机将会逐渐交付给其它厂商，这里面依旧没有冰芯，心急基本就到了一个十分高的位置。

根据目前拿到的信息和消息，因为光源功率的提升、透射率的提升和双工作台（同时加工两片晶圆）的新设计，nxe：3100在同样的制程条件下可以把晶圆加工产出量推高至早前的alpha deo tool光刻机的20倍左右。

这种提升不可谓不可怖，也由不得有心往前追赶的冰芯不重视。

像这样的euv光刻机，asl开出的价格是4400万欧元，之前邱慈云在欧洲谈采购，听到价格连一丝一毫的犹豫也没有就答应下来。

可是，发货真是遥遥无期。

当然，这样的技术应用于量产也需要很久，nxe：3100从asl发出之后单单组装就需要不少4个月的时间，后续的可靠性测试、量产标准测试更是需要时间。

按照邱慈云提供的分析，即便是台记，这一系列的实验、研究、改进，想真正的导入到量产里至少也是五六年之后的事情，甚至，也不一定就能量产出来。

但冰芯既然致力于往前追赶，就没法忽视这方面的巨大提升，这种台记与asl联合研究中的技术积累、实际生产经验、生产工艺的运用都必将持续的绽放光彩。

目前是有来自asl的公开信息，也有业界流传的消息，还有冰芯内部的半猜半蒙，可这确实会带来长远的影响。

方卓心里对这方面就一个感想，烦人。

不是冰芯不想不愿付出，像冰芯与比利时微电子ic的关系就一直良好，还从那边引进过制程工艺技术，但asl主导的与ic的euv光刻机研发专案是明确拒绝了冰芯的加入。

而3年前，台记已经加入这个研发专案工作，进行下一代光刻生产技术的布局。

方卓既有路漫漫其修远兮的感慨，这次也想实地看看到底怎么个事， 本章已阅读完毕(请点击下一章继续阅读!)

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