术很可能会影响整个光刻机的温控设备。

刘佳宁恍然大悟，还对姜昭节解释道：这应该就是我本能觉得不对的地方了。咱们公司的实验室，没有单独测量物镜温度的设备，我倒是疏忽了这一块的问题。

目前对于调控缩放线路图的光路，比较先进的方法是控制透镜和反射镜的温度。

新技术可以缩短芯片制程，虽然减少一定能耗，但每单位路程上，光束更加集中，导致单位体积内热量增高，必然影响温控设备的使用和调节。

曲旭清琢磨着道：看来得增加一个补偿校正温度的设备。

刘佳宁：温度控制器?以目前国内的物镜生产水平，恐怕得加大功率的才有效。

姜昭节随口道：什么样算大功率?如果功率过大，会不会这项技术能够减少的能耗?

刘佳宁和曲旭清同时皱起眉头：这个要测定一下，还不好说。

但如果温控设备的消耗超过了新技术节约的能耗，那这项技术

有不如没有。

两人忍不住发愁，辛辛苦苦好几年，好不容易拿出了优秀的成果，如果这个问题无法解决，那技术就只能是技术，永远无法应用到实际中。

更无法产生效益。

星维前前后后砸了好几个亿在半导体项目上，如今刚看到一点成功的希望，要是真遭遇这么严重的问题，别说回本了，投资不算完全打了水漂，那都是理想状态了!

这么恐怖的亏损，只怕要让姜昭节寒心的!

曲旭清很想回报姜昭节，没想到技术存在这么大的隐患，当场就懵了。

刘佳宁也很头疼，开始考虑研发能耗小一点的温度控制设备。

但她不是这方向的专业人才，一时间竟找不到 本章已阅读完毕(请点击下一章继续阅读!)

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